ダイアフラムポンプ
メタルベローズポンプ
酸素ガス発生装置
窒素ガス発生装置
チェックバルブ
リリーフバルブ
ニードルバルブ
28.0L/min -64.0kPaG 159.0kPaG
40.0L/min -74.5kPaG 172.0kPaG
85.0L/min -74.5kPaG 275.0kPaG
140.0L/min -74.5kPaG 275.0kPaG