RSPシリーズ<微圧作動型>

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RSPシリーズ<微圧作動型>

RSPシリーズ<微圧作動型>

■大気圧~微圧環境下での使用を想定し設計

■特殊ダイアフラム構造により、高いシール性能再現性を実現

■微圧環境設備、回路の圧力制御用途に最適

仕様

使用流体 清浄空気又は不活性ガス
接続口径

2方Rc1/4

耐圧 100kPa
クラッキング圧力 1.0~5.0kPa
使用温度範囲 5~60℃
本体材質 POM(ポリアセタール)
接ガス部材質 POM・SUS304・EPDM・FKM
備考 ■取付姿勢によりクラッキング圧力、リシール圧力に影響が出ます。
■出荷後に取付姿勢を変更する場合は製品を返却頂き、弊社工場での再調整が必要となります。

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外形寸法 / 材質

材質表 番号 名称 材質

ボディ POM
ボンネット POM
ステム SUS304
C型止め輪 SUS304

※本バルブは方向制御弁(逆止弁など)としては、ご使
 用できません。
※配管施工時は取付姿勢に注意して下さい。
※接続部(ボディ)は樹脂製の為、配管施工時はねじか
 らの漏れ、配管応力にご注意下さい。
※本製品のクラッキング圧力は工場にて調整します。
 お客様での出荷後の圧力調整は出来ません。

流量特性

型式選定表

用 途

■工業炉/一般工業炉、加熱炉、真空炉、燃焼装置、恒温器
■医療機器/血液分析器、体液検査装置
■分析・計測機器/各種分析装置、成分ガス分析、ガス分析装置、ガス検知器、環境計測機器
■その他/グローブボックス及び微圧環境設備など

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